Вакуумная система с вакуумным насосом VRD16 для системы CVD

I. Обзор

Система

(может создавать вакуум в трубчатой печи до 0,6 Па) состоит из всасывающего фланца

(самодельный) с интерфейсом KF25, высоковакуумный метод перегородки, вакуум сопротивления

манометр, сильфон, кронштейн (самодельный), вакуумный насос

выход фланца, подключите кремний сопротивления к одному концу трехходовой трубы,

подсоедините клапан заслонки высокого вакуума к другому концу, подсоедините заслонку

клапан и вакуумный насос с гофрой Dia25, а использовать быстросъемный KF25

зажим для соединительного порта. .

2. Система обнаружения давления

Тип ZDR-I/ZDR-I-LED с одинарным сопротивлением

вакуумметр

Вакуумметр сопротивления

(также известный как вакуумметр Пирани) использует специально стабилизированный ZJ-52T.

датчик сопротивления и применяет новый режим работы с постоянной температурой к

постоянная мощность. В то же время микропроцессор используется для управления

нелинейность регулирования. Линейная обработка. Он имеет характеристики

стабильной работы, широкого диапазона измерений, быстрого отклика и небольшого дрейфа. А также

мощное и надежное микропроцессорное управление реле, последовательная связь

выход, вакуумный аналоговый выход и другие функции. Особенно подходит для

грубое и низкое измерение вакуума и управление вакуумными приложениями.

Технические параметры:

*

Регулировка распределения: измеритель сопротивления ZJ-52T

*

Диапазон измерения: 10 5～10 -1 Па

*

Оптическая изоляция, цифровая фильтрация, улучшенная защита от помех.

*