система, система газоснабжения и система радиочастотного электроснабжения. В основном

используется для: роста металлических тонких пленок, керамических тонких пленок, композитных тонких пленок,

графен и т. д. Легко добавлять функции и можно расширять такие функции, как

плазменная очистка и травление. Система PECVD обладает преимуществами высокой пленки.

скорость осаждения, хорошая однородность, высокая консистенция и стабильность.

Подробная техническая

параметры

Модель

TL1600-I

Сила

5кВт

Размер трубы (НД) (мм)

Корундовая трубка высокой чистоты: 60 мм (диаметр трубки)

С каждой стороны размещаются две топочные пробки.

заглушка печи может блокировать тепловое излучение в центре трубы печи

и должны быть размещены в правильном положении в печи перед нагревом.

Измерение

1120X490X855

напряжение питания

220В

фаза

отдельная фаза

нагревательный элемент

Кремниево-молибденовый стержень модели 1800

Тип контроля температуры

Использовать

Прибор контроля температуры программы Yudian (стандартный)

1.

30-сегментный программный контроль температуры, интеллектуальная ПИД-регулировка.

2.

При защите от перегрева контур нагрева электропечи будет

автоматически отключаться, когда температура превышает температуру или когда

пара сломана. ON, индикатор ON на панели не горит, индикатор OFF горит,

а электропечь ограниченно защищена).

3.

С коммуникационным интерфейсом 485 (стандартно с дополнительным программным обеспечением)

4.

Он имеет функцию защиты от сбоя питания, то есть когда печь

при включении после выключения питания программа не запускается с

начальной температуры, но начинается с температуры печи, когда мощность

выключен.

5.

счетчик имеет функцию самонастройки температуры

(вам нужно доплатить за замену импортного

инструменты, по желанию)

Прибор FP93                             прибор EUROTHERM                       Сенсорный экран

инструмент

(шимаден, Япония)

Материал камеры

1. Материал топки выполнен из качественного материала.

поликристаллическое волокно из оксида алюминия.

2. Поверхность внутренней печи покрыта

импортированное 1800-градусное высокотемпературное покрытие из глинозема, которое может увеличить

коэффициент излучения и сделать температурное поле более сбалансированным.

Клапаны и фланцы

точность управления

экран цифровой дисплей.

Усыновить

Вакуумный насос ВРД16

ВРД16

Технический термин

Технические характеристики

ВРД-16

Скорость откачки м³/ч (л/с)

мощность двигателя (кВт)

0,75 кВт/0,55 кВт

Входное/выходное соединениеDN

КФ25

используется контроллер потока, см. оборотную сторону