Лабораторная система CVD с двухзонной вращающейся трубчатой печью 1500-1500C

Sales

Менеджер по продажам:Андреа

Эл. адрес: Андреа@tmaxlaboratory.com

WeChat: 18250801164

Информация о продукте

Лабораторная система CVD с двухзонной вращающейся трубчатой печью 1500-1500C

Система CVD состоит из системы подачи газа + трубчатой печи + вакуумной системы, а максимальная температура может достигать 1200 градусов, 1400 градусов, 1600 градусов и 1700 градусов. Зона нагрева может быть однотемпературной, двухтемпературной, трехтемпературной и т. д. Предельный вакуум может достигать 10-3 Па. Системой газоснабжения может быть массовый расходомер или поплавковый расходомер для регулирования расхода. Количество каналов микширования может быть 2 канала, 3 канала, 4 канала и 5 каналов.

Подробные технические параметры

Модель	1500-1500-I 1500-1500-II
Сила	9кВт 9кВт
Трубка	размер
Диа	60 (внешний диаметр) X1400 мм Диаметр 80 (внешний диаметр) X1400 мм
Поставлять	Напряжение
380В 380 В	Фаза
двухфазный двухфазный	Трубка
Корундовая трубка: AIO высокой чистоты	керамика (в том числе) 99,5%
Обогрев	элемент
Первый	температурная зона: кремниевый углеродный стержень Вторая температурная зона: кремниевый углеродный стержень
Скорость вращения трубы печи	С бесступенчатым двигателем с регулируемой скоростью,
скорость можно регулировать в пределах (1-25 об/мин)	Мощность двигателя 40 Вт Печь можно наклонить под углом 0-30 градусов Тип привода Зубчатый ремень и шестерня Контроль Режим Инструмент контроля температуры программы БПЛА
(стандарт)	1, 30-ступенчатый программный контроль температуры интеллектуальная ПИД-регулировка.
2. С защитой от перегрева электрический	отопительный контур печи автоматически отключается при достижении температуры
перегрев или поломка (когда температура электропечи превышает	1520 градусов или перегорела термопара, реле АС на главной цепи
будет автоматически отключен, основная цепь разорвана. Вкл., Вкл.	индикатор на панели выключен, индикатор OFF горит, а ограниченная защита
электрическая печь).	3, с интерфейсом связи 485 (стандартный
при покупке программы)	4, с функцией защиты от отключения питания, что
то есть при включении питания после выключения питания программа	начинается не от начальной температуры, а от температуры печи
повышается с момента отключения электроэнергии.	5, счетчик имеет функцию самонастройки температуры
(вам нужно доплатить за замену	импортных инструментов, опционально)
прибор FP93
прибор ЕВРОТЕРМ	Сенсорный экран
инструмент	(шимаден, Япония)

Материал печи

1. Высококачественный поликристаллический оксид алюминия высокой чистоты.

печь для отверждения волокон, образованная вакуумной фильтрацией.

2. Принять японские технологии для литья под давлением.

Контроль

точность

+/- 1℃

Курок

Фазовый сдвиг

курок

Электрический

прибор

Чжэцзян

подбородок

Кремний

контролируемый

106/16ESEMIKRON

самая высокая температура в первой и второй температурных зонах

1500 ℃

Рейтинг

температура в первой и второй температурных зонах

1400 ℃

Обогрев

оценивать

≤ 20 ℃ / мин (при необходимости можно изменить)

рекомендуемые

скорость повышения температуры

≤10℃/мин.

Термопара

S тип в первый

температурная зона

тип во второй температурной области

Длина

секции нагрева в первой и второй температурных зонах

300+300 мм 300+300 мм

Длина постоянной температуры

450 мм 450 мм

Gx-3 трехканальная подача воздуха (смешанный

воздушная) система

1.1. Газ выходит из баллона,

сбрасывается через редукционный клапан, проходит через тефлоновую трубку

на вход системы газоснабжения, а затем проходит через массовый расход

метр для контроля расхода газа, а затем проходит через резервуар для смешивания газа и

затем поступает на вход печи. 1.2. 2)	Манометр крепится к баку для смешивания газа, а манометр	диск дисплея и контроллер протонного расходомера установлены на одном
	панель.	1.3.
	Каждая газовая линия имеет запорный клапан высокого давления для обеспечения безопасности.	1.4.
	В газовом тракте используется высокоточный массовый расходомер газа, а внутри	газовый тракт полностью изготовлен из трубы из нержавеющей стали, обладающей хорошей коррозионной стойкостью
	сопротивление. 1.5.	Все соединения в коробке соединены наконечниками из нержавеющей стали, которые имеют	хорошая герметичность и сопротивление высокому давлению.
		2. Технические параметры:	Пневматический канал: 3
		Контроль расхода газа:	массовый расходомер.
		Размеры шкафа:	600С600С600мм
		Массовый расходомер	технические параметры:
		Интерфейс: Φ6	Дисплей: светодиодный
		Температура рабочей среды: 5~45°C	Контроллер потока:
		Параметры контроллера потока Proton Пожалуйста, проверьте еще раз	Трубка из нержавеющей стали:
		Φ6 вне X Φ4	Вакуум давления
		таблица: -0,1～0,15 МПа, 0,01	МПа/дел
	Запорный клапан: Φ6 Управление потоком: ПЛК интеллектуальное управление	功率	3. Массовый расходомер
		电压	технические параметры:
		转速	Товар
		имя: Регулятор массового расхода	Товар
		Описание: Нормальный тип, аналоговая схема	6
		Товар	Детали: обычная, аналоговая схема, резиновое уплотнение, трубчатый шунт, непростой
	блокировать. Главный	индикаторы: Диапазон: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10	SLM (вы можете выбрать диапазон произвольно)
		•	Точность: ± 1% полной шкалы
		•	Линейный: 0,5% полной шкалы
		•	Повторяемость: ±0,2% полной шкалы
		•	Время отклика: 1 с
		•	Падение давления воздуха: <0,01 МПа
	•	Максимальное давление: 3MP	•
		Температура рабочей среды: 5～45°C	•
		Входные и выходные сигналы: 0~+5,00 В	•
		Мощность: +15 В 50 мА -15 В 50 мА	•