Компоненты микроволновой подложки
I. Обзор
Использование вакуумного испарения полупроводниковых тонких пленок, напыления, гальваники, фотолитографии, лазерной обрезки, скрайбирования и других процессов, металлизации рисунка на поверхности керамических подложек (или специальных подложек) при интеграции резисторов, конденсаторов, катушек индуктивности и т. д. ., для производства подложек схем с конкретными функциями, таких как электрическое соединение, физическая поддержка и рассеивание тепла, и используются в гибридных интегральных микросхемах микроволновых устройств.
2. Характеристики продукта
Высокая частота, высокая точность, высокая надежность
3. Технические показатели
Материал: Al2O3.
Точность: точность ширины линии/межстрочного расстояния ± 2,5 мкм.
Металлизация: резисторы Ti, Ni, Pt, Au, TaN, готовые пленки AuSn и др.; отвечают требованиям сварки золотой проволокой, сварки SnPb/AuSn/AuSi/AuGe и проводящего клеевого соединения.
Прочее: Наматывание сбоку, сквозные отверстия (сопротивление сквозных отверстий менее 50 мОм).
Пленочная система |
Типичное сопротивление дна |
50 -75-100 Ом/□ |
Типичная толщина переходного слоя |
1000 ~ 3000 Å |
|
Толщина поверхностного металла |
3 ~ 8 мкм |
|
Фотолитография |
Разрешение |
0,8 мкм |
Точность выравнивания |
±1 мкм |
|
Двусторонняя экспозиция, экспонирование толстого клея |
||
Игра в кости |
Минимальный размер резки |
0,5 мм × 0,5 мм |
Точность размеров |
±50 мкм |
|
Точность выравнивания агрегата |
±5 мкм |
|
Возможности процесса |
Подложка размером 2 × 2 дюйма позволяет производить 800 штук в неделю. |
4. Типичные продукты
Линии задержки, чип-аттенюаторы, фильтры, ответвители Ланге, направленные ответвители, спиральные индукторы и т. д.
5. Области применения
Радарная связь, радиоэлектронное противодействие, спутниковая связь, прецизионное геодезическое и картографическое оборудование, беспроводная связь, высокоскоростное зондирование и другие области.